产品介绍
平面对准系统，是通过双面视觉识别与多维度补偿算法，实现mask掩模版与substrate基板之间微米级对位，确保后续工序的精准作业，提升良率与一致性。系统配备带同轴光学的双面对位视觉，可完成掩模板与基板的识别与对齐；支持高对比度 mark 的亚像素级识别；通过实时建模与校正消除光学畸变与透视畸变；完成 XY 平移加 θ 旋转的多自由度系统误差标定及补偿，并结合实时温度监测实现温漂动态补偿；系统具备一键系统检测与标定功能，便于无缝移植至不同高精度系统中。目前产品正处于产业化阶段， 已批量赋能高速固晶、锡膏印刷、晶圆植球、精密点胶和激光锡焊等装备