产品介绍
提供X、Y、Z三轴直线运动及θx、θy、θz三轴旋转，满足复杂空间姿态自动调节需求。直线轴采用精密交叉滚子导轨+C3级研磨滚珠丝杆+光栅尺闭环；旋转轴采用伺服直驱+21位绝对值编码器，定位精度高、静止抖动低。搭载气浮隔振平台，具备温漂补偿功能，保障精密工况下的稳定性。支持多自由度校准与一键标定，伺服系统具备开环/闭环切换，通信采用EtherCAT总线。模组总重≤10kg，末端负载≥2kg，适配光模块装配与精密光学实验
产品参数
精密调姿平台末端负载≥2kg
X/Y水平轴行程±25mm，最大速度20mm/s
Z升降轴行程±5mm，最大速度5mm/s
θx/θy/θz旋转轴行程±10°，最大速度≥20°/s
定位精度＜5μm、<0.002°
重复定位精度≥±0.3μm、≥±0.001°
光栅分辨率0.1μm
产品应用
应用行业
- 光通信器件制造
- 精密光学实验室
- 微纳装配领域
工艺环节
- 光模块装配制程中的光纤空间对准及耦合工艺
- 光学器件的空间姿态自动调节
典型场景
- 高速光模块，如400G/800G，自动化耦合产线
- 精密光学测试平台的多自由度微调与标定